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快速退火爐的類型和特點

 發布時間:2022-12-19 點擊量:113
  快速退火爐是用于制造半導體器件的工藝,包括加熱多個半導體晶片以影響它們的電性能。熱處理是為不同的效果而設計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉換成薄膜或晶片襯底界面,密集沉積薄膜,改變生長薄膜的狀態,修復注入的損傷,將摻雜劑從一個薄膜移動或轉移到另一個薄膜,或者從薄膜進入晶片襯底。
 
  那么快速退火爐有哪些類型呢?
 
  一、鋁合金快速退火爐。
 
  主要用于鋁合金、鋁板的熱處理和均熱退火。
 
  鋁合金快速退火爐由臺車爐體、循環系統、導流設備、加熱元件、裝料臺車、爐門升降機構和電氣控制系統組成。
 
  二、井式真空快速退火爐。
 
  適用于圓線材和鋼帶退火。真空加熱退火,不滲氮不脫碳,使工件退火后保持光亮。真空快速退火爐主要由爐體、爐襯、真空泵、循環風機和電氣控制系統組成。
 
  三、多管不銹鋼絲光亮快速退火爐。
 
  它由加熱爐、冷卻器、放卷機構和電控系統組成。
 
  主要適用于不銹鋼絲、銅線、鐵絲等的光亮退火。
 
  四、井式快速退火爐。
 
  適用于圓線材和不銹鋼線材,拉伸前退火,氧化少,無脫碳,使工件退火后保持整齊。特點:可配置多臺爐,多工位操作可節省人力資源,提高生產效率,節約能源,降低生產成本。
 
  五、臺車式快速退火爐主要用于銅排、鑄鋼件、汽車零部件、軋輥、鋼球、金屬結構件及焊件的正火及退火熱處理。臺車式快速退火爐主要由爐門升降和密封設備、爐車、爐車傳動機構、電加熱設備和溫度控制系統組成??稍谒降孛嫔鲜褂?,無需基礎安裝。
 
  六、罩式快速退火爐。
 
  該設備可廣泛用于有色金屬銅、鋁合金、黑色金屬、普碳鋼、硅鋼、合金鋼及其他卷、卷、線等的退火。沒有氮化和脫碳,使工件退火后能保持整齊。該快速退火爐具有生產效率高、產品質量好、能耗低、無污染、自動化操作、安全可靠等優點。罩式爐由加熱罩、兩個爐座、閥門框架和電氣控制系統組成。
 
  七、網帶式不銹鋼快速退火爐。
 
  它由進料臺、加熱區、冷卻段、氨分解爐、電氣控制系統等部分組成。主要適用于各種不銹鋼、銅、鐵制品在保護氣氛控制下的連續光亮退火和固溶處理。
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